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通过一种低成本、易操作的热退火方法,实现了对PECVD法生长的Ga2O3薄膜的表面调控,并基于能带调控理论,探索了这种热重组工程对基于Ga2O3的MSM型电光探测器性能的具体影响,提出了可实现的表面改性方法,涉及宽带隙半导体Ga2O3的表面物理与光电物理的融合。

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