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广州华瑞升阳申请宽禁带半导体器件专利,降低宽禁带半导体器件导通损耗和栅介质层击穿风险

 国家知识产权局信息显示,广州华瑞升阳投资有限公司申请一项名为“宽禁带半导体器件”的专利,公开号 CN 119170634 A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种宽禁带半导体功率器件,包括至少一个元胞结构,元胞结构包括:衬底;宽禁带半导体层,设于衬底之上;若干源极沟槽和栅极沟槽,均平行分布于宽禁带半导体层,且两者间隔设置;源区,设于源、栅极沟槽之间的宽禁带半导体层中;第一源电极,设于源极沟槽内,在源极沟槽侧壁与宽禁带半导体层形成肖特基接触;栅电极,设于栅极沟槽内;栅介质层,包围栅电极;第二源电极,设于第一源电极之上,并与源区形成欧姆接触;电场调整区,设于至少一个第一源电极下方,用于调整源极沟槽间电场线分布;漏电极,设于衬底下面;其中,源极沟槽在垂直方向上的延伸长度超过栅极沟槽。本发明能降低宽禁带半导体器件导通损耗和栅介质层击穿风险。

 

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