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晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产

 11月26日上午,晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产仪式在新埭镇举行。继9月德耐尔三期开工,10月润泽二期封顶后新埭又一个项目顺利投产......今年以来, 新埭镇牢牢锚定“全市数字经济发展新增长极”目标定位,坚持把项目建设工作作为经济高质量发展的引擎,真正实现“月月有开工,月月有投产”。

新埭镇党委书记潘加林,平湖市泖水投资发展集团有限公司总经理陈立忠,浙江大学半导体材料研究所所长、浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院副院长皮孝东,晶驰机电(嘉兴)有限公司总经理郭森,镇相关部门负责人以及特邀客户代表等到场参加。

投产仪式后,与会人员前往厂区参观车间,并一同见证晶驰机电首台MPCVD设备交付。

晶驰机电(嘉兴)有限公司成立于2023年,主要从事碳化硅、金刚石、氮化铝等第三代、第四代半导体设备的研发、生产和销售。公司分别与浙江大学杭州国际创新中心、杭州电子科技大学共建联合实验室。目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD法),金刚石晶体生长设备(MPCVD法),氮化铝晶体生长设备,碳化硅源粉合成炉,碳化硅晶体生长设备(PVT法),氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。达产后预计实现年产值1.4亿元。

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