德国爱思强产品管理总监Jens VOIGT:用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解决方案
德国爱思强产品管理总监Jens VOIGT介绍了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解决方案》主题报告。他介绍说,爱思强的行星式反应器平台是生产具有最高一致性、重复性和缺陷控制标准的化合物半导体器件的已建立的平台,例如用VCSEL激光器证明的3D传感器技术,这是当前高容量需求的关键驱动因素之一。同样的要求组合也适用于Micro-LED技术:在低的缺陷水平下,结合外延层的高通量结构具有非常高的精度。行星式反应器平台技术已经被证明能够为所有RGB Micro-LED提供必要的生产条件。
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