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比亚迪投资半导体设备研发商邑文科技

  12月26日,记者查询天眼查发现,近日,无锡邑文电子科技有限公司(下称“邑文科技”)发生工商变更,新增股东包含比亚迪等。

  邑文科技成立于2011年,主营业务为半导体前道工艺设备的研发、制造,主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备。智慧芽显示,邑文科技近期主要专注于半导体、反应腔室、等离子、加工设备、真空腔室等技术领域,已公开专利申请195件,发明专利占比54.87%。

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