0

广州南砂晶圆申请用于PVT法生长碳化硅单晶的装料装置及应用专利,有效提高所制得碳化硅晶体的质量

 国家知识产权局信息显示,广州南砂晶圆半导体技术有限公司申请一项名为“一种用于PVT法生长碳化硅单晶的装料装置及其应用”的专利,公开号CN 119824526 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请公开了一种用于PVT法生长碳化硅单晶的装料装置及其应用,属于碳化硅单晶生长设备技术领域。本申请提供一种在PVT法生长碳化硅单晶时放置于坩埚体内的装料装置,用于盛装碳化硅粉料,该装料装置包括筒体和可拆卸设置在筒体上的顶盖,筒体包括侧壁和筒体底部,筒体的侧壁由可以供所述碳化硅粉料分解的气相组分通过、但阻挡碳颗粒的多孔材料制成,顶盖由阻挡所述碳化硅粉料分解的气相组分通过的致密材料组成。本申请还提供利用上述装置生长单晶的方法,通过使用装料装置进行碳化硅单晶生长,可以改变物料气氛的传输路径,避免了重结晶区域阻挡气氛传输,解决了晶体生长速率突变的问题,减少了碳包裹体的生成,有效提高了所制得碳化硅晶体的质量。

天眼查资料显示,广州南砂晶圆半导体技术有限公司,成立于2018年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35680万人民币。通过天眼查大数据分析,广州南砂晶圆半导体技术有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息57条,此外企业还拥有行政许可66个。

(来源:金融界)

推荐

全部
原创

热门

全部
原创