2025 年 1 月 10日,安徽旭腾微电子设备有限公司洁净车间扩建项目正式开工,为公司的发展开启了新的篇章。
安徽旭腾微电子设备有限公司成立于 2022 年 3 月,注册资本 1100 万元,作为合肥真萍电子科技有限公司的母公司,坐落于合肥经开区云谷路 4708 号。公司是一家高新技术企业,专注于热场(+30 - 1600℃)、真空(1 - 1*10?? torr)、高压(10MPa)领域半导体设备的研发、生产与销售,集设计、制造、销售及售后服务为一体。
此次扩建项目将建设 class100 和 class1000 车间,建设面积达 7000 平方。公司拥有一支实力雄厚的技术团队,核心成员由资深热工、流体、结构、半导体等领域的工程师组成,研发人员超过 40 人,均具有本科及以上学历。目前,公司已获得 60 项国家专利申请,其中包括 12 项发明专利和 16 项软件著作权,并拥有约 32000 平米厂房及 2000 平米洁净车间。
在主营业务方面,公司致力于研发高集成自动化、适应复杂制程需求的半导体设备,如全自动立式炉、立式氧化炉、立式扩散炉、立式退火炉、立式?LPCVD?炉、立式合金炉、全自动甲酸真空焊接炉、全自动真空无氧气烤箱、全自动真空压力烤箱、全自动 SIC 覆膜炉等。目前,公司已成功研发并量产多款自动化产品,其中应用于晶圆和先进封装段 单管、双管、四管立式炉,Baking 工艺的全自动真空无氧烤箱、全自动真空压力烤箱、甲酸回流焊炉等设备批量生产。